377.造不如买——中夏光刻机夭折始末（下）（2.6合1）（3/7）

相信，只要给我们时间和经费，我们一定能追上。

只是，我们一直在国内，没有什么机会到外面去学习交流，也不知道现在的国际最高水准是什么样子，有没有厂商做出了线设备。

单是这样闭门造车，不知道外面的世界多么广阔，实在是不敢妄言一定能做到最先进的水平。

不过，我可以保证的是，我们团队的研发能力和学习能力是很强的，我们不怕吃苦，特别能克服困难。

我们团队研究光刻机的条件很艰苦，完全是从零开始，当时国内没有任何研发光刻机的经验给我们借鉴，成员们也都没做过光刻机，都是凭着各自专业内的知识和经验，一边学，一边干。

我们都是拿着死工资，没有一分钱的奖金，也没有加班费，但所有成员都有很强的奉献精神，主动加班加点，没日没夜地苦干。

除了缺乏技术和经验，我们还缺设备。

可以说，用来造光刻机的高端设备和精密仪器，我们都没有，外国全都不卖给我们，国内也不能生产。”

“那怎么办？”

“还能怎么办？我们只能自己设计，再自己制造。”

“啊，我虽然不是很懂技术，但我知道光刻机是一个很复杂的机器，精度很高，用到的设备也很多，像是什么特殊气体啊、激光啊、光学仪器啊之类的，这些都要你们自己造吗？”

“对，我们也是被逼得没办法了。

举几个例子：

为了解决第一代光刻机的‘超高精度测量定位’这个问题，必须采用一种叫作‘工业用数字式激光干涉仪’做平面坐标精密定位控制系统，像这个干涉仪就属于尖端技术产品，国内生产不了，但又非得用不可，我们只能自己制造。

我们先研制这种干涉仪用的可稳频的氦-氖气体激光器，然后一步步地做精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，这些器件都是我们团队成员自己研制的。

我们先画出图纸来，检查好设计没问题后，再一个螺帽、一个螺母地在车间里打样，合格了以后再在学校精密仪器系的工厂规模生产。

在我们做第二代光刻机的时候，当时这种分步投影光刻机在国外也还处于研究阶段。

我们靠着自主研发，独立研究出了气动自动调焦技术、暗场同轴自动对准技术、亚微米级大视场投影光刻物镜设计等一系列技术，这些研究都处于当时的世界先进水平。”

说话间，徐端颐从抽屉里拿出一叠