第61章 一个大胆的设想,开启第二次试验(3/3)
米制程,但事实上,浸润式光刻机的实际极限远不止7纳米,只要加大成本,浸润式光刻机可以推进到3纳米甚至2纳米制程。
但这涉及到多重曝光和对准的问题。
打个比方来说,对于一个芯片来而言,原本的电路图案可能有10层,我们可以将其拆分为30层、40层甚至更多层次,通过多次光刻工艺,最终可以实现更高的分辨率。
但这对光刻过程十分严格,每一次光刻过程都要保证准确对准,这是一个极难攻克的点,可以形象地比喻为在一张小纸上拓印一个王字,若直接一次性拓印肯定不行,因为纸太小了。
所以我们要将其分为多次拓印,先拓印一横,慢慢挪动纸,再拓印一横,然后拓印一竖,最终形成一个“干”字,再拓印一横,最终得到“王”字。
“竟然这么简单?!”
曾泉听后,眼睛噌的一下就亮了,眼中精光流转,满脸兴奋和好奇,仿佛触碰到了从未见过的知识点。
事实上,这一观点他也只在陆隐口中听过。
他抬头看着越来越看不清原本面貌的光刻机,心中还有些担忧。
“陆工,你有多大的把握,若是这个设想不成功,这台光刻机可就报废了。”曾泉问道。
陆隐双眼中闪过一丝坚定,“九成吧,行不行两天后就知道了。”
“这次的改装已经进行到了最后的阶段,两天后,将开启第二次试验。”
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