第226章 纵论EUV（上）（1/3）

“你小子，跟老师说话还这么不着调，小心我期末挂你的科。”周万达是一个好奇心很重的人，现在他询问的问题，没有得到答案，让他百爪挠心一般的难受，忍不住出言威胁了一句。周万达本就是北大集成电路专业的教授，这一学期负责教授乔瑞达他们班的一门专业课。乔瑞达又经常旷课，点名经常不在，如果专业老师以此为理由，让他挂科，谁也挑不出毛病。

听到来自周万达的威胁，乔瑞达立马服软，“别呀，周老师，周教授，你如此宽洪大量的人，怎么能跟我一般见识，让我挂科呢。周老师，你不就是想知道后面那辆车上拉的是什么吗，我这就告诉你，那辆车上拉的是一台UV光刻机。由于设备太过精密，震动，或者温湿度剧烈变化，都有可能影响它的加工精度，这才在车辆上加装了防震措施，又在集装箱上装了空调，以保障内部环境恒温恒湿度。”

“什么，我没听错吧，你竟然搞来了一台UV光刻机！这怎么可能呢，连国际光刻机巨头阿斯麦都只有测试样机，没有量产上市的东西，你小子又是怎么搞来的？”乔瑞达说出来的信息太过于震撼，引的坐在后座的周万达惊呼不已，当教授，做科研培养出来的沉稳气质，荡然无存。

“嘿嘿嘿，对不住了周老师，这个UV光刻机的来源就真的不能对外说，否则将供货渠道暴露出来，下次就再也拿不到货了。你也是搞芯片的，应该清楚，这些高端光刻机，对咱们华夏大陆都是禁运的。”其实这台UV光刻机是乔瑞达通过金手指复制出来的，来源本就见不得光，这会儿被周万达问起来，只能编出一个神秘的供货商来，应付一二了。

“原来是这样，要说你小子也真是厉害，还在测试阶段的新设备，都能搞出来。渠道的事儿，我就不问了，你看能不能通过你的关系，给北大芯片实验室也搞一台UV光刻机，要多少钱你随便开。”周万达搓搓手，一脸期待的看向正在开车的乔瑞达。

作为一名芯片制程工艺研究员，周万达太清楚UV光刻机的威力了。当前市面上主流的浸润式DUV光刻机，常规加工精度是n。即使使用套刻、多次曝光等工艺，DUV光刻机的加工精度最多提升到n，而且会存在步骤繁琐、加工难度大、良品率低等诸多的缺点。如果有了UV光刻机，那就完全不同了，UV由于采用了极紫外光对硅晶圆进行加工，可以把加工精度做到很小，起步就是n，具有加工速度快、良品率高、等优点，生产出来的芯片，性能强大，发热低。后续采用一些其他工艺，还能加工出n、n，甚至n的芯片，绝