第94章 力排众议(下)（1/4）

光刻机内部的透镜组，一般是由十余块凸透镜和凹透镜叠加组成，这款康尼NSR-1010g光刻机的透镜组高度大概在一米左右。

其中凸透镜负责控制焦距和成像距离，而凹透镜负责控制透镜色散以及像差，以保证最终图像能够准确地投射在晶圆之上。

“我们先通过画图和测算，得到现有透镜组的数值孔径，接着再将每一块透镜设置为变量，通过位移和拆卸，来测算每一块透镜对于整体的影响和差别，最后整合实验结果，通过改变透镜组内部结构，来提升光刻机本身整体的分辨率。”王向中面色严峻地说道。

“我也没有设置什么非常困难的目标，只要尽量让孔径数值尽量增大就可以了。”

听完这番话，台下的工程师和研究生们都陷入了沉默当中。

显然，王向中的计划是可行的。不过这个任务的难度太大了，首先是物理层面，现在的透镜组是由康尼的研发工程师设计调校好的，尽管水木大学的研究生们拥有丰富的理论知识，但这真正地上手操作还是头一遭，能不能真的把这件事情给干好还是一个未知数。

而晶华内部的工程部主要涉猎的还是晶圆制造部分，无论是PE工程师（Process Engineer，工艺工程师）还是IE工程师，对于光刻机本身构造的了解和改造能力都是极为有限的，他们主要负责的部分还是生产线其它流程的优化和改良，只对提供测试数据这件事情上有所帮助.

见到众人都陷入了沉默中，王向中继续说道：“参考康尼NSR-2005i9c，同为步进式光刻机，想要让工艺节点下降到0.5微米以下，数值孔径就必须达到0.5左右，的确是挑战不小。”

“可是……”台下一个研究生犹豫了半天，最终还是举手说道：“要是失败了怎么办……”

“失败？”王向中轻轻一笑，“胜败乃兵家常事，失败也是很正常的，又不要你们出钱，你们只要尽量把事情给办好就行。在接下来的日子，我会尽量指导你们开展研究工作……”

指导？

听到这狂妄的用词，台下的研究生们再一次炸开了锅。

“王师弟不会在开玩笑吧？”一个身着白色衬衫的青年颇有玩味地把玩着手中的钢笔，似笑非笑地盯着王向中，“你，来指导我们？我没有听错吧？”

“你有什么建议吗？”王向中见状，也只是脸色淡然地回应道。

“据我所知，王师弟现在不过还在读大一吧？