374.参加会展买AMSL光刻机（4/4）

深紫外，也就是dv，包括krf248n（用于8寸晶圆）和arf193n（12寸晶圆）、

以及我们熟知的极紫外(ev)，用于12寸晶圆。

这也是光刻机的演进方向。

在1991年，大多数的光刻机还是第一代g线设备，第二代线设备暂时只有al这款pa5500。

后世，动不动上亿丑元的光刻机指的就是ev。

而之所以半导体厂商都在追求越来越大的晶圆尺寸，这是因为晶圆的面积越大，浪费的边角料越少，实际上能得到的de（晶粒）更多。

比如，在1988年，为实现从碟子大的6英寸到餐盘大的8英寸的升级，豪掷10亿丑元，研发了世界第一条8英寸晶圆生产线以及配套工艺，就因为8寸晶圆的面积是6英寸的177倍。

后世，晶圆大小已经发展到了12英寸。

赵德彬对这款设备很感兴趣，他问道：“叠加精度和数值孔径是什么？产量怎么样？”

“叠加精度40纳米，数值孔径是048至060，产量是每小时84片晶圆。”

“嗯，不错，”赵德彬点点头，他感觉这就是他想要的设备。

见状，凯茜很有眼色地到一旁给桑德斯和拉扎打电话。