第一百五十五章：光源与波澜（2/3）

当然此时的友商，夏芯在今年做了一件大事。

18年5月，夏芯科技订购了一套极紫外光刻（v）设备，该设备来自荷兰芯片设备制造商asl，价值12亿美元。

而且还有一位厂商，大江存储，他的首台光刻机同样来自浸润式光刻机，售价7200万美元，用于工艺。

看吧，其实还是有伙伴在这条路上一直努力的，在未被打压之前就在往上走。

因为事关重大，所以半导体部门的人员不仅是签署了一堆保密文件，他们的部分亲人还接受了回国的安排。

不过顾青来到部门办公研发区域，却没看到谁懈怠，又或者垂头丧气。

为自己所在的行业添上一座丰碑，为大夏半导体事业而努力，本就是他们的一个愿望。

特别是在顾青的“大力”栽培下，前途与钱途都得到了保证。

“我们都是这个行业的青壮一辈，我们都知道顾总您给出的技术是多么高瞻远瞩，光源是限制我们大夏半导体发展的关键技术。

所以都在加班加点的实验推演，仿生机械假肢项目的成功，我们都为同事为公司感到欣喜，但我们想尽早拿出成果，让整个大夏半导体不依靠外国的光源。”

李由在一旁做着解释。

虽然他知道顾青是理解他们的，但是这种事该解释还是需要解释的。

万一就被人穿小鞋，岂不是血亏？

顾青自然是理解的。

毕竟半导体这个产业，每一个项目都有专利墙保护，而光源就是命脉一般的存在，所以这群半导体人会这么如痴入魔。

“目前进度怎么样？”他问道。

李由皱了皱眉，“还不是很顺利，当初我们学的是采用　248n　的　krf准分子激光作为光源的第三代光刻机和采用了　193n　的　arf准分子激光，的第四代光刻机。

所以光源上的理论还有所生疏，而且德国那边的仪器，他们给的不是最先进的那一款，还有储存环，我们国内的不是很……。”

顾青表示理解，叹了口气道“这很正常，要达到国际先进水平不容易，但是我们还有一个研究部门正在进行改造，不论是仪器和储存环，这个月底就会给你们。

asl1公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶，形成等离子体然后产生波长135纳米的v光源，功率约250瓦。

随着芯片工艺节点的不断缩小，对v光源功率的要求也将不断提升，估计会达到千瓦量级。