第592章 美国人惹上这家人，真是倒了八辈子的血霉（2/4）

脸上没有丝毫怒意，反而笑呵呵地走到饮水机旁。

“怎么？被鬼打墙拦住了？”陈山接了一杯水，轻轻晃了晃。

“陈先生，这不是鬼打墙，这是瑞利判据。”倪光南站起身，苦笑道，“我们在空气中进行光刻，空气的折射率是1。按照公式，我们已经被锁死在193纳米这个光源上了。要想更进一步，除非能造出波长更短的激光器，比如157纳米的氟气激光。但那个技术……哪怕是美国人，现在也还在实验室里摸索。”

“那就别用空气嘛。”陈山喝了一口水，语气轻松得像是在讨论晚饭吃什么。

倪光南愣了一下：“不用空气？那用什么？真空？”

“真空也不行，真空没有介质，折射率还是1。”旁边的老专家叹了口气，“陈先生，您是搞战略的，技术上的事……”

“我是不懂技术。”陈山走到实验台前，把那个装满水的纸杯放在了昂贵的光刻机镜头模型旁边。

他指了指杯子里的水。

陈山转过头，看着倪光南，“老倪，水的折射率是多少？”

倪光南下意识地回答：“纯水的折射率是1.44。”

话音刚落，倪光南的身体猛地僵住了。

就像是一道闪电，瞬间劈开了他混沌的大脑。

1.44。

公式：分辨率 = k1 * λ / NA。

如果介质的折射率从空气的1变成了水的1.44……

等效波长 = 193nm / 1.44 ≈ 134nm！

不需要研发新的光源！不需要等待那个遥不可及的157纳米激光！只要在镜头和硅片之间加一层水，现有的设备就能直接突破物理极限！

“水……”倪光南喃喃自语，瞳孔剧烈收缩，“在镜头和晶圆之间……加水？”

“疯了！这简直是疯了！”旁边的老专家惊叫起来，“电子设备最怕水！而且水会产生气泡，会污染光刻胶，高速运动下水的张力怎么解决？这在工程学上是自杀！”

“工程学的问题，只要肯砸钱，总能解决。”陈念站在一旁，淡淡地补了一刀，“但物理学的问题，砸钱也解决不了。”

陈念从公文包里拿出一份文件，那是陈山根据后世记忆整理的《关于浸没式光刻系统的可行性猜想》。

“爸说得对。”陈念把文件递给倪光南，“为什么非要死磕空气？”

倪光南颤抖着手接过文件，只看了第一页的示意图，呼吸就变得急促起来。