第374章 这才是我们要的价码（9/12）

冷硬得像一块铁。

佐佐木的身体僵了一下，弯腰道歉。

“是，非常抱歉。”

在实验室的另一头，林伟坐在计算机终端前。

他的眼睛，盯着屏幕上滚动的代码和数据流。

这些天，除了打下手，他把所有的时间，都用在了建模上。

用他们带来的数据，模拟这台光刻机的每一个工作流程。

屏幕上，一个红色的警报框，跳了出来。

林伟皱起眉，重新输入参数，再次运行。

十分钟后。

同样的红色警报框，再次出现。

他换了三种算法，推演了四遍。

结果，都指向同一个结论。

林伟站起来，快步走到钱建华身边。

钱建华正在一块白板前，记录一组刚刚测试出来的光谱数据。

“钱教授。”

林伟的声音压得很低。

钱建华放下笔，转过身。

“怎么了？”

“模型。”

林伟指了指不远处的计算机。

“我用他们给的工艺参数，模拟了第三道蚀刻工序。”

“良品率，存在一个理论上限。”

“无论怎么优化参数，调整功率，都无法突破这个上限。”

钱建华的目光，动了一下。

他跟着林伟，走到那台计算机前。

林伟把模拟过程，又演示了一遍。

钱建华看着屏幕上的曲线图，那条无论如何都无法再往上攀升的曲线。

“你的推论是什么？”

“他们的蚀刻光源，存在设计缺陷。”

林伟说。

“光源的角度和聚焦算法，在微米级别，有一个致命的瑕疵。”

“这个瑕疵，会导致每一片晶圆上，都有固定百分之五左右的区域，蚀刻不完全。”

钱建华沉默地看着屏幕，看了很久。

“这件事，还有谁知道？”

“只有我。”

“好。”

钱建华直起身，拍了拍林伟的肩膀。

“把所有数据备份，然后，把模拟记录全部删掉。”

林伟愣住了。

“教授，这是他们的致命缺陷，我们应该……”

“时机未到。”

钱建华打断他。

“你什么都没有发现。”

“继续你的工作。”

钱建华说完，转身走回那块白板