第897章 华国激光研究领先全球？（2/3）

下头。

“行吧......光刻机由十几个大系统组成，所有零部件加起来有好几万个。眼下我简简单说你今天在这里就能看到的光刻机最为核心的光源部分，也是我一直都在直接领导研发的部分......”

徐国士就清了清嗓子，对陈国泰缓声说道。

陈国泰连忙竖起耳朵，聚精会神地听了起来。

“......顾名思义，光刻机绝对离不开‘光’。它的加工本质是用流明度和分辨度都足够高的强光对足够纯净的硅晶圆进行‘微雕’......那么什么样的光才能足够强呢？毫无疑问，是激光。所以我们从研发一开始，就着手研制出了氦—氖气体激光器作为光刻机的光源干涉仪......”徐国士娓娓讲述道。

“什，什么？徐老师，你说咱们的光刻机光源一开始就是使用气体激光方案？”

陈国泰突然瞪大眼睛，不敢置信地惊呼道。

“对呀？这有什么问题吗？”

徐国士愣了一下，疑惑地说道。

有什么问题？这问题可大了！

陈国泰当即用看神仙一般的敬仰眼神震惊地看着徐国士，心里疯狂地呐喊。

就陈国泰前世记忆中的内容来看，国外的光刻机在本世纪九十年代之前，光源部分基本都是使用高压汞灯。

直到进入九十年代，国外光刻机的主流光源才开始使用氟—氩气体激光。

也就是俗称的DUV光刻机。

而就在那个时候，国内光刻机的光源部分已经换成了氟代硼铍酸钾非线性激光晶体，把西方世界远远地甩在了后面。

那个晶体有一个大名鼎鼎的名字——KB.BF晶体！

它在广泛应用中被叫做准分子固态激光......

“徐老师，我们凤凰集团从成立开始就有发展光刻机全产业链的构想。为此我们收集了很多西方世界光刻机的情报......据情报记载，西方光刻机目前使用的光源并不是气体激光，而是高压汞灯！”

在徐国士的疑惑注视之下，陈国泰声音微微颤抖地说道。

“什么？小陈，你能确定，西方现在使用的光源是高压汞灯？”

徐国士瞬间大吃一惊，身体猛然前倾，死死地盯着陈国泰说道。

“我们的消息确切无误。西方世界使用的光源的确是高压汞灯。”

陈国泰快速做了一个深呼吸，尽量镇定地说道。

“他们真的是用高压汞灯做光源？这不对呀。汞蒸气经过高