第503章 时间就是金钱！特种气体之难（2/6）

要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。

离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。

林林总总加一起。

要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。

需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。

真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。

用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了9999，就已经很不错了。

而用于电子科技产品的呢

哪怕只是生产6寸以下、不低于025微米线宽的晶体管和晶闸管，纯度都要百分之九十九点九九九。

而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。

特种气体的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提高芯片的良品率。

可是纯度已经很高的气体，再想进一步的提纯，难度实在是太大了。

就像一张满分是一百的试卷。

从六十分及格，努力学习考到九十分并不难，因为提升空间很大。

再努努力，从九十分提升到九十五分，也并非不可能。

但九十五分以上，想一题不错的考个满分，就真是太难了。

什么电解法、化学法、吸附法、精馏法等等，各种方式方法看似不少。

但不同的方法，需要不同的设备和工艺，里面的门道实在是太多了。

就像同样是电解法，需要的直流电应该多大电流多高电压作用多长时间才能确保氧化还原最佳

而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等，又需要用什么样的催化剂、在怎样的容器中进行反应

而且吸附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气体，吸附装置、吸附材料、吹扫设备等等，也需要很考验技术功底。

至于膜分离、气体分离、冷冻分离、催化分离等等手段，对没从事过相关研究的人来说，那就更是难以想象的困难了。

然而

如何提纯获得超高纯度的特种气体，就已经技术门槛很高，需要耗时多年进

行潜心研究、不断改进。

而除了制取难、提纯难之外，特种气体的存储与运输，也是一大难题。