第三百一十五章 含金量（3/5）

中的兴奋状态中脱离出来，对于和陈晓夏的沟通，他属于机械式反应。

“林博士，第一个问题，您觉得新芯的技术突破意味着什么？对于光刻机领域，对于半导体领域来说？”

“意味着困扰业内长达二十年的光源问题得以解决，从90年代开始，光源波长就从365n降低到了193n，但是业界一直无法实现突破。

新芯这次实现了光源波长的突破，从40n到20n都将是一马平川，再无困难点阻碍。

半导体行业依然会按照摩尔定律继续发展，一直到遇到新的瓶颈。”林本坚说得云淡风轻，心里却很得意。

他在现场看到了之前ib的老熟人，也是他的对手，ib光源团队的负责人鲍里斯·利普金。

之前在ib的时候，他坚持深紫外光或者浸润法来突破193n波长的限制，而鲍里斯坚持x光，林本坚后来被ib“内部退休”和鲍里斯不无关系。

看到台下的敌人、朋友、对手、合作伙伴，大家虽然有着不同的立场，但是都在为半导体技术又一次进步而鼓掌而高兴，这技术进步是自己带来的，林本坚感到由衷的开心。

陈晓夏不太能体会林本坚的心情，他知道这很重要，不重要央妈也不会派一整个团队跑过来，他不知道具体有多重要，听完林本坚的回答后，陈晓夏有了更加直观的感受。

20年的难题被解决了，这确实是值得大书特书的事情，还是由我们华国的企业实现了这一突破。

“林博士，这次的技术突破你们是如何做到的？如何超越尼康、佳能以及荷兰的a这些公司？

他们在光刻机领域都有着比较悠久的历史，新芯是如何实现的赶超呢？”

林本坚说“因为我们选择了正确的方向。

我们采取的是和其他公司都截然不同的方向。

在上世纪90年代末的时候，当时业内就提出了各种各样突破193n波长的方案，其中包括157n&nbp;f2激光，电子束投射，离子投射、深紫外光和x光等等。

其中x光、电子束投射、离子投射都太遥远了，属于是有这个想法，理论来说可行，材料学的现状决定了不现实，这些只是前置研究。

最普遍的是157n的f2激光，尼康、佳能、a都走的是这一技术路线。

但是这一技术路线同样有一些难点要克服，比如说157n波长的光会被193n波长光源光刻机的镜片吸收，他们要重新研制镜片，光刻胶也要重新研发，他们要克服的