第067章 相控阵模型测试成功了（2/4）

的话，可以申请，总装那边同意的话，可以报生产计划，这一台光刻机可不便宜。”

“……”

赵国庆这次过来生产几个元器件，高频可控硅晶体管，还有几种氮化镓三级管，这是用来调频，还有放大电流的核心器材。

难度稍微大一点的便是mmic数字移动相位器电路，需要在指甲盖差不多的大小上，集成七百多了晶体管集成电路，清大微电子所成熟的五微米制造工艺就可以了，下引個针脚，使用的是环氧树脂dip封装。

这个封装技术让赵国庆吐槽不已。

“何教授，国内有成熟的陶瓷封装工艺吗”

这塑料封装，要是飞上天，碰到高温不给融化了啊！

“有，前两年，国家引进了一台陶瓷封装设备，好像分给45厂了！”

赵国庆点点头，只要有就行，哪怕没有，一个陶瓷封装也难不住他，芯片都能手搓图纸，陶瓷封装手搓也不是不可以，大不了良品率小一些。

不管制程如何，芯片的生产一直是复杂的事情，特别是mmic数字移相电路，涉及个八位数字移相控制，虽然只有七百多个晶体管，但因为有五层结构，需要的掩膜版就要制作六件。

清大的掩膜版是在玻璃上喷射感光材料，通过分布曝光技术，一个个印上去的，出错率高，而且花费的时间也很惊人。

跟人工一个个将晶体管画上去差不了多少。

而国外这个时候，大概已经可以用专门的芯片cad制图，通过激光打印机曝光掩膜版。

“我也知道这项技术，前两年我还去过日本，在东芝公司的光刻车间，透过车间外的玻璃，看到他们就是用激光来打印掩膜版的，他们制作的存储芯片，比起美国人的产品更好！”

“国内有研究打印掩膜版的单位吗”

“不太清楚！”

“没想过进口几台吗”

何振华摇摇头：“也不是什么都可以进口的！”

想想也是，国外更喜欢的是你进口产品，而不是工具，民用上面没什么限制，但这种激光打印机，华国要是进口，只能用在军用上面。

原因很简单，因为华国根本就没有民用方面的芯片。

晶体管的制作，当天就好了，不过mmic芯片就差了点时间，半个月的时间才做好，在清大微电子所进行了简单的测试了，这些芯片、晶体管被赵国庆全部带到厂区进行测试。

这里的设备大多是各个研究所、工厂里带过来的，检测电路和雷达波的