第125章 改良方案(2/3)
,这和他们原本的设计有很大的区别。所以,他真对设计图进行了改良?而从消化图纸,到完成改良设计,他仅仅只用了十天?!先不说改良的方案到底行不行,光是这个效率,就让何永感到有些难以置信。短暂的惊讶过后,何永便把设计图放大,仔细分析起了里面的改变,眉头也逐渐开始皱了起来。“磁场约束?”看着包裹着两个电极的麻花状线条,何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……没看出什么名堂的何永,试着根据康驰在整体结构图上的注解,找到了这个麻花状的详细分解图。然后他顿时就瞪大了眼睛。他终于知道自己在哪,看过类似的结构了。这是……仿星器!这结构,太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了!开什么玩笑?!我们这是在造EUV光源,不是搞核聚变的!就算你把仿星器设计出来了,是凭我们就能造出来的吗?!何永看到这张图的第一眼,只觉得这太离谱了,但多看两眼之后,他很快就发现,它虽然像仿星器,但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。仿星器的设计,是个完美的闭环磁场,而这个显然是个开环,结构也相对简单很多。何永又看了看这张图的技术说明,很快就理解了康驰这套改良方案,具体的原理是什么。在DPP-EUV方案中,最大的问题,就是在电离锡的时候,会产生大量的锡碎屑,这些碎屑温度极高,很容易腐蚀、污染电极和设备,尤其是收集光线的反射镜,一旦受损,收集光线的效率就会直线降低。所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理,制造一股无形的‘风’,把这些电离过程中产生的锡碎屑,沿着设计好的磁场路线吹出去。想法是很好,但这可能实现吗?先不说这个强磁场能不能造出来,就算造出来了,这么强的磁场,会不会对设备的其它部件,造成干扰影响?而且除了这个磁场清理碎屑的改良点,何永在接下来,还发现了康驰另外一个更疯狂的改良。锡本来应该涂抹在电极上的,但康驰直接在电极中间加了个喷嘴,把锡加热到2260度,变成气体喷出去!原理其实和燃油发动机有点像,喷油嘴喷油,然后火花塞点火,区别只是一个燃烧膨胀作功,一个电离发光。这么做有个好处,
本章未完,点击下一页继续阅读。