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第97章 配制光刻胶(1/4)

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光刻机研发这么多年,理论体系大家都清楚,但能否用技术实现出来却至关重要。

徐磊虽然率先解决了光源系统,能够达到很高的分辨率以及使用寿命。

可配制光刻胶却比较棘手。

霓虹国能为海外光刻机公司提供高端光刻胶,很大程度上是借助了自身在特殊材料领域的发展。

国内由于此行业底蕴较为薄弱,以至于不少原材料都需要徐磊从零开始研发,这在效率速度上自然会慢上很多。

况且要保证在晶圆上蚀刻出3纳米甚至1纳米的芯片电路, 对光刻胶的要求也就更高,起码品级要超出海外高端光刻机所使用的光刻胶,否则若最后和制作出来的顶级光刻机不配套,那就成了宝剑配上一个烂木鞘,怎么看会怎么别扭。

至于物镜系统的研发,进度则就明显快多了。

海外高端光刻机所使用的镜头, 基本来自徳国公司。

且镜头上的每一块镜片均采用人工打磨的方式,确保镜片没有任何瑕疵。

华科院内尽管找不到这种程度的工匠, 但依靠星瞳的强大智能运算能力和徐磊的把控, 最后打磨出来的镜片倒也能够满足顶级光刻机的需求。

于是在这种情况下。

最后当光刻机各部件成功完成组装,可以进行测试的时候。

仅剩下光刻胶仍旧没有解决。

这使得其他人也只能耐心等待,相信徐磊可以配制出顶级的光刻胶。

但由于先前华科院已经放出风去,表示春节前后就能让国产光刻机投入使用。

所以眼看着时间一天天流逝,大家的心情也开始紧张起来。

尤其是院长杨森平。

几乎都快把自己的办公室搬到实验室来了。

大部分时间都待在项目研究中心。

当然。

他除了是关心项目进度外,更重要的还是想保证这边的新项目研究组不出现差池,省的到时候造成严重影响。

再对他先前负责的项目组成员筛查后,发现其中一名人员和海外势力存在特殊联系。

并在调查后确定正是对方把项目组解散的消息传了出去。

对此杨森平虽然按照规定进行了严肃处理,但也不想看到徐磊负责的这个新项目组出现类似情况,所以相比刚开始那几天后面他到实验室来的频率明显增加。

很快,时间来到一月下旬。

当未来科技公司都已经正常放年假的时候,华科院光刻机项目研

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